名稱: | 拋光樹脂 |
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別名/英文名: | 拋光樹脂 |
CAS號(hào): | 無 |
涉 及: | 半導(dǎo)體行業(yè) |
常用型號(hào): | AMBERJET UP6150、 MB115、MB106 |
規(guī)格/其它: | 無 |
常用型號(hào)有SEPLITEMONOJET 6150U、 AMBERJET UP6150、AMBERJET UP6040、
Tulsion MB115、Tulsion MB106等。UP6150與UP6040的主要區(qū)別在TOC和SIO2的處理上,UP6150處理能力能在TOC<=20ppb,SIO2<=5ppb;UP6040處理能力在TOC<=15ppb,SIO2<=2ppb;MB115處理能力TOC<=10ppb,SIO2<=5ppb; MB106<=10ppb,SIO2<=2ppb。出水電阻率方面,MB106可達(dá)到18.2以上,MB115穩(wěn)定在17.5以上。
注意事項(xiàng)
1. 拋光樹脂是由氫型強(qiáng)酸性陽(yáng)離子交換樹脂及氫氧型強(qiáng)堿性陰離子交換樹脂混合而成。
2.在作業(yè)中,如需加入水以方便裝填,請(qǐng)注意必須使用純水,水份不得太多,同時(shí)必須在樹脂進(jìn)入樹脂槽后立即將水抽出或排掉,避免樹脂的分層。
2.如需用手裝填樹脂,請(qǐng)務(wù)必將手洗凈,切勿將油脂帶入樹脂槽內(nèi)。
3.如為換裝樹脂,必須完全的清洗桶槽及集水器,不得有老舊樹脂殘留槽底,否則這些使用過的樹脂將會(huì)污染水質(zhì)。
4.所使用的O-ring及緊迫,必須定時(shí)更換。同時(shí)每次換裝時(shí)必須檢查相關(guān)的零組件,如有破損,必須立即更換。檢查集水器,如有堵塞,應(yīng)該清除。
5.使用FRP桶槽當(dāng)作樹脂床,應(yīng)先將集水管留置于桶槽中再裝填樹脂。在裝填樹脂的過程中,應(yīng)不定時(shí)的搖晃集水管,如此在最后,才能調(diào)整集水管的位置并安裝上蓋。
6.如先裝填樹脂,則在插入集水管將會(huì)遇到困難。如一定要必須先裝填樹脂才能插入集水管,則可將已裝滿樹脂的FRP槽橫置于地上,緩慢的滾動(dòng)桶槽以松動(dòng)樹脂,再慢慢的將集水管插入樹脂中。
7.樹脂裝填完并接上管線后,應(yīng)先將桶槽上端的通氣孔打開,緩慢的通入水,直至通氣孔溢水且不再有氣泡產(chǎn)生后,將通氣孔緊閉,開始采水。
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